1、分子泵為何會(huì )發(fā)生半邊熱,半邊冷的現象?
原因:
①缺乏定期維護
解決方法:
①及時(shí)維護
原因:附近有光照或其他熱源
解決方法:避免光照或熱源
2、分子泵使用中發(fā)現油發(fā)黑,請問(wèn)油為什么發(fā)黑?或者多長(cháng)時(shí)間油才會(huì )變黑?
原因:冷卻不良,負載太大
解決方法:檢查冷卻系統,檢查真空系統
3、分子泵在運轉過(guò)程中,出現頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常,之后又下降至一定頻率,再恢復到正常,反反復復,更換電源后現象仍如此,請問(wèn)該現象如何解釋?zhuān)?/span>
原因:負載太大,系統真空度不夠
解決方法:檢查系統
4、分子泵軸承為什么會(huì )燒毀
③沒(méi)有及時(shí)換油
④抽除的氣體中含有大量粉塵
③及時(shí)換油
④隔離粉塵
5、有防護網(wǎng)保護,為什么還會(huì )有大塊碎玻璃掉入泵內?
原因:防護網(wǎng)破裂,前級管道破裂
解決方法:優(yōu)化系統設計
6、真空度很好的情況下,分子泵油為何會(huì )返到前級管道?
原因:油池破裂或密封不良
解決方法:檢查油池
7、正常使用下,為什么分子泵油池會(huì )出現裂紋或者變形
原因:過(guò)熱,負載大
解決措施:檢查冷卻系,檢查系統
8、分子泵中經(jīng)常掉出頂絲、鏍釘等物體,如M5的頂絲等,請問(wèn)是否對分子泵的使用有影響?應如何解決?
原因:應是偶爾發(fā)生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒(méi)有影響。
解決方式:應是偶爾發(fā)生的事情,可能是平衡中遺漏的平衡釘,對分子泵沒(méi)有影響。
9、膠圈口分子泵要用多少卡鉗,使用才安全?
答:不作特殊限定,至少3個(gè),按照法蘭大小可選3、6、12、24等
10、變頻器電源在什么情況下會(huì )造成程序丟失或者錯亂?
答:①電壓不穩②強干擾③高壓打火④人為解密
11、分子泵噪音大如何界定?是否有合格標準,是多少?
答:小于72db合格,噪音的大小不太好界定,需要zhuan用儀器和特定的測試環(huán)境
12、分子泵是否對冷卻有明確要求?如風(fēng)冷需要外界溫度是多少?如水冷則對水有何具體要求?如未達到要求會(huì )出現何后果?
答:注意水溫和水流量,冷卻不良會(huì )導致無(wú)故停機、碎泵、油變黑等。
13、分子泵電源存在接地、屏蔽等問(wèn)題,應如何做才是z佳方式?
答:電源本身有接地線(xiàn),只需要保證市網(wǎng)有良好接地就可以了;屏蔽主要是指對強磁場(chǎng)和強輻射的屏蔽。
14、變頻器電源,轉速上升過(guò)程中就自動(dòng)關(guān)機,即顯示“Poff”?
答:原因:電壓低
15、分子泵葉片破碎的原因:
答:造成分子泵轉子、靜子打碎的原因比較多,歸納起來(lái)主要是以下幾點(diǎn)
①、誤操作;比如突然的破真空,因為轉子與靜子葉片之間的空隙非常的小,如果葉片的材質(zhì)比較薄或者比較軟,突然的空氣阻力會(huì )造成葉片變形,這樣可能會(huì )造成轉子靜子之間的摩擦,導致打碎。
②、是異物掉入;沒(méi)有安裝過(guò)濾網(wǎng)肯定不行的,另外掉進(jìn)去的東西不一定要多大,但如果硬度夠了一樣會(huì )造成傷害,輕則造成葉片邊緣被打成鋸齒狀,重則打碎葉片。所以現在的設備商在安裝分子泵的時(shí)候會(huì )盡量改為側面90度或倒立安裝,避免異物掉入。
③、電壓的不穩定,特別對磁浮類(lèi)的分子泵損傷較大。
④、前級泵的效率差;我們知道腔體內的大部分氣體首先是通過(guò)前級泵抽出,真空達到一定程度分子泵才會(huì )啟動(dòng)。如果前級泵的效率差,分子泵就會(huì )比較吃力,啟動(dòng)速度慢,抽氣時(shí)間長(cháng),電流高,分子泵溫度升高等。
⑤、分子泵保養時(shí)的動(dòng)平衡沒(méi)有做好,這是技術(shù)的關(guān)鍵,動(dòng)平衡差,振動(dòng)就大,抽氣效率就差,也容易造成軸承部分的過(guò)度磨損。
⑥、軸承部分沒(méi)有使用原廠(chǎng)的標準軸承,效果和尺寸不標準等。